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六維力傳感器隨著集成技術(shù)、分子合成技術(shù)、微電子技術(shù)及計(jì)算機(jī)技術(shù)的發(fā)展，出現(xiàn)集成傳感器.集成傳感器包括2種類(lèi)型:傳感器本身的集成化和傳感器與后續(xù)電路的集成化.例如:電荷藕合器件(CCD)，集成溫度傳感器AD590集成霍爾傳感器UGN3501等.這類(lèi)傳感器主要具有成本低、可靠性高性能好、接口靈活等特點(diǎn)集成傳感器發(fā)展非常迅速，現(xiàn)已占傳感器市場(chǎng)的2/3左右，它正向著低價(jià)格、多功能和系列化方向發(fā)展。
六維力傳感技術(shù)大體可分3代，第1代是結(jié)構(gòu)型傳感器.它利用結(jié)構(gòu)參量變化來(lái)感受和轉(zhuǎn)化信號(hào)。例如:電阻應(yīng)變式傳感器，它是利用金屬材料發(fā)生彈性形變時(shí)電阻的變化來(lái)轉(zhuǎn)化電信號(hào)的。第2代傳感器是70年代 開(kāi)始發(fā)展起來(lái)的固體傳感器，這種傳感器由半導(dǎo)體、電介質(zhì)、磁性材料等固體元件構(gòu)成，是利用材料某些特性制成的。80年代智能化測(cè)量主要以微處理器為核心，把傳感器信號(hào)調(diào)節(jié)電路微計(jì)算機(jī)、存貯器及接口集成到一塊芯片上，使傳感器具有一定的人工智能.90年代智能化測(cè)量技術(shù)有了進(jìn)一步的提高，在傳感器一級(jí)水平實(shí)現(xiàn)智能化，使其具有自診斷功能、記憶功能、多參量測(cè)量功能以及聯(lián)網(wǎng)通信功能等。
